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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵冷却不良 ALCATEL 5011分子泵维修

复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其自身的几何参数在影响抽气性能的同时也影响检漏仪的检测性能。基于分子泵抽气基本理论，建立了复合分子泵牵引级的计算模型，通过改变螺旋升角、ALCATEL 5011分子泵维修 ，牵引槽深度和转子与定子的间隙，分别计算了复合分子泵牵引级对氦质谱检漏仪涉及到的2种气体——空气和氦气在不同工况下的抽气性能，研究了复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。

一、真空泵正常运转使用时，每三天对以下内容进行一次点检：

A、泵油是否在游标范围以内

B、泵油是否有变黄变黑、混浊现象

C、声音是否出现异响

D、真空泵运行时是否出现漏油

分子泵的部件是旋转叶片和固定叶片。旋转叶片的转速达1800～90000rpm，叶片端的速度达数百m/s，接近分子的平均速度，通过和气体分子的碰撞将气体分子搬运到排气口。当对向设置的旋转叶片进行高速转动时，气体分子从吸气侧运动到排气侧的几率是A，气体分子从排气侧反向运动到吸气侧的几率是B。旋转叶片撞击气体分子，气体分子碰到固定叶片之后再次飞向下一个旋转叶片，终被弹向排气口，使得A>B，实现排气功能。

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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵冷却不良 化工泵维修

磁悬浮分子泵是利用磁力作用将转子悬浮于空中使转子和定子无接触运转。

其特点如下：

（1）不用任何润滑油，可实现完全无油化。

（2)由于转子与定子之间没有机械接触，轴承的寿命非常长。

（3）与传统轴承相比，转子可运行到很高的转速。

（4）　振动与噪声很低。化工泵维修

（5）　泵的安装姿态不受限制，可任意角度安装。

（6）转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形

（7）自平衡技术振动ji小

相比普通分子泵，它的轴承不需要润滑，所以可以排除油污染。

脂润滑分子泵特点：轴承用油脂润滑。

通常情况下有效粘度低，蒸汽压极低的轴承用油脂，使涡轮分子泵避免了在抽气时或放大气时都要小心，尤其当转子在高速工作时以免高速流动的油进到入口处。

蒸汽的影响：咱们所用的真空泵为蒸汽喷发真空泵，是以过饱满水蒸汽为作业介质的，蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能，还会腐蚀蒸汽喷唬，添加泵的蒸汽用量，使泵的作业状況变得不稳定；

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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵冷却不良 真空泵机组维修

真空泵的缸体与缸体之间是有缝隙的，密封套件就是用着这之间的位置，真空泵密封套件的好坏直接取决于真空泵的使用性能，比如密封不够，就会引起真空度不达标等异常故障。真空泵机组维修

分子泵内部结构的设计和制造分为三个层次首先是分子泵的内部结构，即分子泵的外形。其次是分子泵的外形，包括两种前面板和后面板。前面板采用钢制材料,后边板则采用铝制材料。在前边板上加装了一个小型吸尘器，吸收灰尘。后边板上安装了一台大功率电机。前边板上安装了一台大功率电机，吸收灰尘。后面板上的吸尘器安装在一起。这样可以保证分子泵的正常运行。真空泵机组维修

分子泵内部结构采用三层前面板和后面板。前面板为铝制材料，后边是铝制材料。这样可以使得分子泵在工作时具有良好的吸附能力。前两个层次为灰尘和粉末。真空泵机组维修

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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵冷却不良 真空泵技术升级

半导体产业链包括上游的半导体支撑产业，中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备，其中真空产品主要在半导体设备领域应用；中游半导体制造的he心是集成电路制造，包括IC设计、IC制造以及IC封测；下游的半导体应用领域众多，quan球半导体应用领域排名前san的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/yi疗。真空泵技术升级

干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。真空泵技术升级

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。真空泵技术升级

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