边缘曝光装置,用于对基板的边缘进行曝光;
显影装置,用于对曝光后的基板进行显影,该边缘曝光装置位于该显影装置的入口处;
其中,该基板在被输送至该显影装置的过程中,被该边缘曝光装置进行边缘曝光。
东莞市清溪利成曝光显影
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