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抗振动测试 通过对一批泵(处于运行和非运行条件下)进行一系列测试,证明对外部源产生振动的耐受性。在 105 分钟的振动周期中,全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性,因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变,且泵不平衡性仍然远低于阈值。温度测试 将泵置于 –40 °C 至 +70 °C(处于非运行状态)以及 0 °C至 40 °C(处于运行状态)下暴露 86 小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证 11 次,结果显示仅存在的变异,远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。
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殊润滑剂润滑轴承
使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感,因为在高真空环境下,润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面,这些油脂类的蒸气会形成一种气源,影响系统的真空度和纯净度;另一方面,这些蒸气进入到真空腔体后,会冷凝附着在其它零件上,影响高真空系统内相关设备的工作。
TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的轴承,能够任意方向安装;并且,由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低,正常使用时几乎没有损耗,使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。
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尽量避免频繁启停分子泵在匀速工作时,转子叶片仅受到离心力的作用(真空下阻力很小可以忽略不计),即远离轴心的方向的拉力;而在加速和减速的时候,叶片还受到转动切线方向的力,相当于对叶片进行弯折的力。显而易见,对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。
另外,分子泵在加速时功率较大,内部发热比较严重,频繁的启停(两次启动间隔<30 分钟)会造成热量累积,使分子泵内部的温度过高,加剧轴承磨损。
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当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触,涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。
使用经过加速的离子束照射被测的表面,通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析,具有快速直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵Turbo-V401报价
使用经过加速的离子束照射被测的表面,通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析,具有快速直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。
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测试条件和装置
被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。
被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级,分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下(该压力以下,热对流几乎为零,分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分)。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。
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