右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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多点动态气体配气仪系统主要功能
自动配气:该装置为计算机智能配气系统,所有操作功能都通过显示屏上的触摸屏完成,只需您在装置屏幕上选择输入需要配制和被稀释的气体的名称和浓度,通过按几次触摸屏,10多秒钟便可配制和显示出您所要的准确稳定的标准气体浓度。
自动校准:根据不同气体的性质和实验环境温度,自动修正流量体积。
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动态配气仪
可以根据客户需求定制,进行双路,三路,多路等复合配气;
采用不锈钢质量流量控制器、转子流量计等组件,保证系统配气精度高,质量可靠;
大屏幕液晶屏幕、中文显示,系统运行更稳定、操作更简便;
流量控制采用闭环模糊控制技术,响应速度快,流量控制准确;
零气压力和钢瓶气压力可实时监测,保证供气压力满足仪器要求;
系统中气路清洁功能可保证每次配气的精准度和设备的长寿命;
无需预热时间,开机即可配气。
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配气仪原理
配气原理为质量流量混合法。采用的质量流量控制器,控制器稀释气体及组分气体的流量。稀释气体可采用高纯氮气、纯净空气等。组分气可以使用纯气或一定浓度的混合标气。通过准确的设置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各种标准气体。
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