真空镀膜与您分享超高纯金属及溅射靶材是电子材料的重要组成部分,溅射靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节,其中,真空镀膜工厂,靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。
上游的金属提纯主要从自然界重点金属矿石进行提纯,一般的金属能达到 99.8%的纯度,溅射靶材需要达到 99.999%的纯度。
靶材制造环节首先需要根据下游应用领域的性能需求进行工艺设计,然后进行反复的塑性变形、热处理来控制晶粒、晶向等关键指标,再经过水切割、机械加工、金属化、超生测试、超声清洗等工序。
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