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涡旋真空泵的结构特点

涡旋真空泵主要由5 个部件组成：

（1）动静涡旋盘副与基座；一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错, 两者之间保证180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。

（2）曲轴：保证动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。

（3）密封件：保证动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。

（4） 防自转机构：保证动、静盘180°相位差的机构。

（5）电机：输出约1500r/min的动力机构。

它的主要运动件只有一个动涡旋盘，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低。采用空气冷却，无需水冷。

涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。

涡旋真空泵

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置，按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵，其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，而真空泵由于其强大的力度，使得在使用时需要固定的非常牢固，但是现有的装置进行只是进行固定，并且固定的不是很牢固，而且没有一个缓冲的功能，使得装置运行时产生的振动会直接传导到底座上，使得螺栓松动，导致装置脱落，同时现有的装置在进气口上未设置有过滤装置，使得灰尘的杂质进入到装置内部，由于内部结构运行速度较快，使得灰尘一但进入到内部，将会对内部结构产生非常大的磨损，为此提出一种涡旋式真空泵。