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半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。

近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。

电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.

其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。

我国将减少对进口氦气的依赖

我国氦气资源相当贫乏，含量很低，提取难度大，成本高，90%以上的氦气需要进口。发现和勘探开发新的氦气资源和研发先进的提氦技术，对于改变我国贫氦的被动局面，提高氦气生产的经济性、保障国家用氦安全和促进我国提氦工业的发展具有重要意义。

国内首shou个“地热井水溶氦提取试验站”在咸阳三普2号地热井（站）建成，我国独有的水溶型氦气气球在渭河盆地上空高高飘起。这标志水溶氦资源评价和提取技术取得了突破性进展，对于推动渭河盆地高品位水溶氦气资源工业化、规模化提取开发，解决国家氦气资源贫乏与战略保障问题与“地热+氦气”综合开发利用新模式具有重要的战略和现实意义。

高纯气 厂家分享分子筛空分制氮气是以空气为原料，以碳分子筛作为吸附剂，运用变压吸附原理，利用碳分子筛对氧和氮的选择性吸附而使氮和氧分离的方法，通称PSA(Pressure Swing Adsorption）制氮气。此法是七十年代迅速发展起来的一种新的制氮技术。与传统制氮法相比，它具有工艺流程简单、自动化程度高、产气快(15～30分钟)、能耗低，产品纯度可在较大范围内根据用户需要进行调节，操作维护方便、运行成本较低、装置适应性较强等特点，故在1000Nm3／h以下制氮设备中颇具竞争力，越来越得到中、小型氮气用户的欢迎，PSA制氮气已成为中、小型氮气用户的shou选方法