PVD制程中,镀膜之前为何需要预先去除原始氧化层?
答:预先去除原始氧化层,让金属层之间电阻不会过大以及增加膜与衬底的结合力.
PVD制程中,为何使用DC power ?
答:使用DC power,再加上通一定的ya气 (Ar gas),在真空室就会形成等离子体(电浆)。离子体中的离子撞击TARGET,将TARGET的原子打下落在wafer上而形成金属film。
为何机台必须使用冷却水?
答:控制温度,以防温度太高,造成机台破坏
这种方法是无电流作用,利用化学物质相互作用,在工件表面形成镀覆层。其中主要的方法是:
(一)化学转化膜处理
在电解质溶液中,金属工件在无外电流作用,由溶液中化学物质与工件相互作用从而在其表面形成镀层的过程,称为化学转化膜处理。如金属表面的发蓝、磷化、钝化、铬盐处理等。
(二)化学镀
在电解质溶液中,工件表面经催化处理,无外电流作用,在溶液中由于化学物质的还原作用,将某些物质沉积于工件表面而形成镀层的过程,称为化学镀,如化学镀镍、化学镀铜等。
很多人应该都听过PVD表壳,但是对于它的成分或内涵是什么却不一定清楚。P V D中文的意思是“物理气相沉积”,其定义是指在真空条件下,用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制作技术。而再细分的话,P V D可分为三大类: 1.真空蒸(Vacuum Evaporation)。2.溅射法(Sputtering)。3.离子镀。简单来说,所谓的PVD可以理解成各家品牌表厂在真空状态下把一层氮化钛保护层覆盖在手表的表面(如果那是一款采用金属链带的表,则PVD的范围也会从表壳延伸到表带上),由于钛的密度高且坚硬,因此具有PVD处理镀层后的手表,除了外观看起来比纯粹的不锈钢或钛金属表壳更闪眼,同时它的保护耐刮效果也会获得提升。
这几年除了传统的银色精钢腕表与gui金属腕表之外,各色的腕表也开始如雨后春笋般的大量冒出来。这些经过“金属表面镀层处理”技术加持的各色腕表,除了保有原来精钢材质的经济性与实用性之外,还具有增加表面硬度、更为耐刮抗蚀等优点存在。
电镀技术发明于19世纪初期,由意大利人Luigi V.Brugnatelli在实验室里实作成功,但过了约30年后才开始被大量使用在工业上。电镀是一种电化学过程﹐也是一种氧化还原过程。电镀的基本过程是将零件浸在金属盐的溶液中作为阴极﹐金属板作为阳极﹐接直流电源后﹐在零件上沉积出所需的镀层。电镀相较于鎏金的优势,除了镀层较鎏金更为均匀之外,手续简单、适合大量生产也是它的特点之一。而电镀还有一个强项,就是不像鎏金非“金”不行。
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