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纳米定位台主要特性

压电纳米定位台的压电材料主要特性：

一般来说，压电材料应具备以下几个主要特性：

（1）转换特性：要求具有较高的压电常数d33；

（2）机械性能：机械强度高、刚度大；

（3）电性能：高电阻率和高介电常数，防止加载驱动电场时被击穿；

（4）环境适应性：温度和湿度稳定性好，要求具有较高的居里点，工作温度范围宽；

（5）时间稳定性：要求压电性能不随时间变化，增强压电材料工作稳定性和寿命。

纳米定位台优势

电纳米定位台具有高可靠性、高速运动、零间隙无摩擦、纳米定位精度优势.

压电纳米定位台也称纳米定位台、压电纳米台、压电桑性较链平台、压电挠性平台，它具有高可靠性可以数十亿次往复循环高速运动可达室秒级步进和稳定时间、零间院无摩擦、平滑线性运动、极低的寄生运动、的平面运动、纳米定位精度，具有长期稳定性等优势，并目可在特高压环境中运行，可以采用非磁性材质制造，不产生磁场同时也不受磁场的影响

纳米定位台

纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围可达500μm，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高的精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。

纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高的性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高的刚性、高的负载、无摩擦等特点。

纳米定位台具有非常广泛的应用

例如：

1）在基于金刚石NV色心传感器对微观尺度的磁场或电场物理量的测量，其中镜头移动或样品移动

2）而在信息及精密探测等实验中，对金刚石NV色心的准确的定位

3）探测样品在低温、强磁场环境下的荧光以及一些其他特性材料进行准确的扫描。

4）微纳光学腔的耦合调节。

5）超导磁体内真空低温环境下的准确的定位。

6）F-P微腔调节，例如利用光学手段在低温固体中寻找单个自旋。

7）完成低温环境下稳定的位移控制，从而实现稳定的低温体系

8）光学谐振腔或光学干涉仪的相位锁定等。