广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵维修维护
分子泵故障: 1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
原因:附近有光照或其他热源
解决方法:避免光照或热源
2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?
原因:冷却不良,负载太大
解决方法:检查冷却系统,检查真空系统
3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
原因:负载太大,系统真空度不够
解决方法:检查系统
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目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。
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长期存放不用不是的秘诀有客户会认为,长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是,分子泵长时间停泵后,在表面张力和重力的作用下,轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象,反而会影响分子泵的寿命。为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀,安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月,可以使用软启动功能启动分子泵,转速以阶梯方式缓慢加速,使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月,建议送回维修中心让分子泵在的检测平台上按照既定程序加速(Re-channeling),磨合轴承。
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StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵,该泵可以以速度和容量处理、气和氦气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术(NEG)是SAES集团于上世纪七十年发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速,其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用,以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。
涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。
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安捷伦DS系列旋片泵符合CE和RoHS要求,所有的泵均具有UL和CSA认证。安捷伦的技术支持机构确保DS系列旋片泵具有高,且能够适合于绝大多数应用。安捷伦提供抽速从1.8m三次方/h到25m三次方/h小时的系列双极油泵,同时还提供“智能”的HS系列变频泵。
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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。小型涡旋干泵IDP-3、IDP-7、IDP-10、IDP-15采用单级设计体积小,重量轻,价格低,维护保养周期间隔时间长,运行稳定,是很多应用领域的选择,如分析仪器,科研等。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度的干泵。
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