为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。干燥后在管热管抽真空后，在的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。对漏点进行堵漏。
我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏，效果良好。应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸枪法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸枪法。机组正常运行时，真空系统内部处于负压状态，空气通过漏点被吸入凝汽器，终通过水环真空泵抽出，经过气水分离器从排气口排至大气。测试前，将氦质谱检漏仪测试口与吸枪探头通过吸气线连接，并将吸枪探头装设在分离器排气口处，启动氦质谱检漏仪，待检漏仪经过自检程序启动完毕，即可进入试验待检状态。
油箱试验件的细漏漏点采用正压法检测。试验时，向油箱 试验件内部充入氦气和压缩空气的混合气体，使油箱内部压力大于外界大气压，如果有漏点存在，氦气就通过漏点泄漏出来，用吸枪进行探测，就能确定是否存在泄漏。检测过程要保证在吸枪上加罩盒。一是为了防止环境中氦浓度过高，影响检测;二是为了防止一大片的漏点同时泄漏，不能检测到漏点的确切位置及单个漏点的漏率。检测时，吸枪要沿着漏点缓慢移动，以便能够检测出漏源的准确反应值。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。氦质谱检漏仪应用制冷行业：冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。