ICP光谱仪的优点
1. 多元素同时检出能力。
可同时检测一个样品中的多种元素。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。
2. 分析速度快。 试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定，若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。
3. 选择性好。 由于光谱的特征性强，所以对于一些化学性质极相似的元素的分析具有特别重要的意义。如铌和钽、铣和铪、十几种稀土元素的分析用其他方法都很困难，而对aes来说是毫无困难之举。
使用ICP光谱仪环境很重要
如果室内湿度过大，ICP光谱分析仪中的光学元件、光电元件、电子元件等受到潮湿后，易发生锈蚀、霉变等现象导致仪器接触不良、性能下降，甚至报废。1991年新的中阶梯光栅固态检测器ICP-OES仪器问世,即国内所说的全谱直读电感耦合等离子体发射光谱仪。潮湿的环境还容易使仪器的绝缘性能变差，产生不安全的因素。例如在ICP光谱分析仪光学系统里光栅因湿度过大容易受潮发毛烧坏出现电容打火、高频发生器使等离子体不容易点燃等现象，严重时还会发生高压电源和高压电路放毁元件导致高频发生器损害，如功率管被击穿，输出电路阻抗匹配、网络中的可变电容放电等。
ICP光谱仪优点
优点还是很多且相当明显的。某种元素在物质中的含量达10^-10(10的负10次方)克，就可以从光谱中发现它的特征谱线，因而能够把它检查出来。其一，它可以同时检测同一样品的多种元素，具备多元素同时检出能力。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。其二，分析速度快，可以在几分钟内对几十个元素进行定量测定，不需要经过化学处理。其三，选择性好，可以应用于一些化学性质相似的元素的分析，分辨出不同的元素。其四，检出限低，准确度高，可广泛应用于多个领域。其五，无需过多样品，适用于整批样品的多组分测定。
ICP光谱仪的主要配置及附件：
以光电倍增管PMT检测器为基础的单道扫描电感耦合等离子体发射光谱仪，高频发生器，自动调谐，提供具有中英文操作界面的软件；专门用自动温控循环冷却水系统；冷却水管；高灵敏度进样系统（进口雾化机器加双筒型雾化室）。通常在重新装配进样系统后，点燃等离子体，用Mn溶液（10ug/mL）校正。光学稳定性：与进样系统设计在一个平台上，整个光学系统具有防震措施，一般的地面震动不影响其分析性能。同时仪器稳定脚垫再增加一套防震保护，起到二次防震的目的。