广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G维修厂家
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G维修厂家
油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生，防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G维修厂家
性能指标H2 压缩比1.5 x 106前级管道法兰尺寸KF 16 NW前级耐压 — N212 mbar启动时间< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量7 m³/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s气体通量 — N2、水冷250 sccm极限真空<1 x 10-10 mbar标准和认证EN 61010-1
EN 61326-1
EN 1012-2
EN 12100
EN 50581
机械指令 2006/42/EC
电磁兼容性指令 2014/30/
EU 指令 2011/65/EU法兰类型DN 100DN 160贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量5.84 kg额定转速60 KRPM
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G维修厂家
为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）设计并执行了下面的测试：
测试条件和装置
被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。
被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G维修厂家空挡滑行不可取
分子泵工作时转速很高（数万转/分钟），加减速过程中，不可避免的要经过某些危险的共振频率，长时间在这些共振频率运转，会增加轴承负荷、进而增加分子泵故障的风险。在真空下自然停泵（空挡滑行）时，由于真空下空气阻力很小，分子泵转子要经过几十分钟甚至数小时的时间才能完全停止，其中在共振频率运转的时间也会比较长。一般建议分子泵停机时，手动或者通过充气阀（Vent Valve），通过充气口充入空气/氮气，增加转子阻力使其快速停机；手动充气时，要注意控制充气速度，使停机时间和分子泵启动时间相当（根据泵的大小不同而不同，一般为 3-10 分钟）。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G维修厂家
涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ，泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行 12 个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为 2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到 7mT 。修复应用中使用技术，MACHINA 可以协助 OPD 实验室内部艺术品的修复，由于一些尺寸较大或者极其精致的作品可能无法移动，它也可以被轻松移动到现场或者其他的实验室和博物馆。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G维修厂家
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动。
广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G维修厂家
安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。