气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。压力差的维持一般应符合以下原则:1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
A.空气处理效果较好的,处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。根据手术间的净化级别合理分配无菌手术间、一般手术间和污染手术间。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;B.布置灵活。自带冷源;C.大小厂房、新旧厂房都适用;D.维修频率较低;E.车间噪音低。缺点:A.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;
不需要占用机房面积,布置很灵活的;B.可以满足空气的洁净度;C.造价低。从确保洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。如此类无尘车间初投资约需要40万;D.送风均匀度好。缺点:A.温湿度控制较差;B.可以满足空气的洁净度;C.FFU的维修频率高。4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点A、无尘车间洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
为确保洁净室净化工程内所必须的空气洁净度,洁净室净化工程设计中涉及到的各个设计均应采取妥善的、可靠的技术措施,以减少或防止室内产尘、滋生微生物,减少或阻止将微粒微生物或可能会造成交叉污染的物料带人洁净室净化工程内,有效地将室内的微粒微生物排出,以减少或防止它们滞留洁净室净化工程内。学微电子净化工程一般包括:1、洁净生产区2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)。对于因尘粒脆生物或物料的交叉污染会危害产品雨量或人身安全时.还应采取安全、ke靠的技术措施防让交叉污染,如严格控制不同用选的洁净室净化工程之间的静压差,按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。