水环式真空泵(循环水真空泵)的工作水与被压缩气体是一起排出的.因此水环真空泵需用新的冷水连续补充.以保持稳定的水环厚度和温度。水环除了起“液体活塞”作用.还有散热(对缩压过程).密封(叶轮与配气板之间)冷却(轴封件)等作用。因此泵的工作转速(对应一定的水环厚度)实际工作水温和配气孔布置是几个主要影响因素.对抽气量、工作效率和压缩比(包括可达真空度)起决定性作用。我们在选择真空泵时,首先要了解被抽气体成分,针对被抽气体选择相应的泵,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。
由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对泵有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
旋片式真空泵:转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。
水环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。