气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生,因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。
静电电引起的静电,引起人的不安全和恐惧感,并可造成二次伤害(例如人因受而摔倒,由摔倒又致伤);2.静电放电引起的放电电流,可导致诸如半导体元件等破坏和误动作,例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内,摇晃数次后,与非门栅极严重击穿者计39块,失效率竞达78%,这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏;MAXIM净化室的特征是把空气中的(粒子状物质、气体状物质)作为控制对象的CR(净化室)。
为确保洁净室净化工程内所必须的空气洁净度,洁净室净化工程设计中涉及到的各个设计均应采取妥善的、可靠的技术措施,以减少或防止室内产尘、滋生微生物,减少或阻止将微粒微生物或可能会造成交叉污染的物料带人洁净室净化工程内,有效地将室内的微粒微生物排出,以减少或防止它们滞留洁净室净化工程内。对于因尘粒脆生物或物料的交叉污染会危害产品雨量或人身安全时.还应采取安全、ke靠的技术措施防让交叉污染,如严格控制不同用选的洁净室净化工程之间的静压差,按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流。