10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。设计合理的空间面积应考虑到设备操作、维修的需要。生产区和储存区应有与生产规模相适应的空间面积,用以安置设备、物料,便于操作和维修。现在我们国家的经济科技在发展,同时带动了社会各行各业在告诉发展中。以净化工程这个行业为例,在目前呈现一片喜人的发展态势。
洁净外走廊和其他辅助用房采用彩钢板,彩钢板板厚度必须按执行。风管要求经济与效率并重在无尘车间工程集中或净化空调系统中,对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉,方便施工,运行成本,内表面光滑阻力小。后者是指严密性好,不漏气,不发尘,不积尘,不污染,可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。通过洁净车间技术在净化工程的应用中可以看出,洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均采用了初级效率、中级效率、效率的空气过滤器。
厂房洁净室净化工程多属于生产高科技产品的生产厂房,此类厂房内的生产过程具有连续性不间断昼夜生产,且自动化程度较高,许多洁净厂房内的工作人员较少。洁净室对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等要求是非常高的,因此一般在做净化工程的时候在洁净室安装的过滤器都是过滤器。洁净厂房设置电话,对讲电话,可以减少人员在洁净区走动,减少发尘量,也可在万一发生火灾时及时与外部联系,也为正常工作联系创造条件。