洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
洁净室设计对生产工艺的要求
在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起,把洁净度要求高的工序设置在上风侧,把产生粉灰、有毒、有害、废气的工艺设备、容器尽可能放在洁净区外,若必须放在洁净区内时应尽量采取密闭措施以减少粉尘和废气的排放量。
一般情况下,净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。其原因是两者之间的负荷特点不同。
施工企业承担对洁净厂房工程内各设计图纸进行深化的施工详图设计时,应执行现行国家的标准《洁净厂房设计规范》GB50073的相关规定,并应加强设计质量管理,具有质量管理体系,施工详图应得到原设计单位的书面同意或确认,并得到建设单位的同意后,方能进行施工。
洁净厂房工程中各隐蔽工程,隐蔽前必须经建设单位或监理人员的验收及认可签证。