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式：这是指为增加某一指定地点（如工作点）的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。随着半导体IC设计规则从1．5~0．25μm的变化，相应地超纯水的水质除电阻率已接近理论极限值外，其TOC(总有机碳)、DO(溶解氧)、Si02、微粒和离子性杂质均减少2-4个数量级。辽宁净化工程在当前的水处理中，各项杂质处理的难易程度
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性、隔热性和低漏风率。 ④ 品牌系统配件，性能可靠。 ⑤ 设有多重安全保护。 ⑥ 可提供防爆等特殊处理。 ⑦ 可使用环保制冷剂 因为恒温恒湿空调机选型也非常重要，涉及到空间的大小、净化等级、温湿度、吊顶高度，便于计算送风量……所以恒温恒湿空调机是无尘车间的核心设备。辽宁净化车间工程与无尘车间的区别
的矩形风管应为≤00117P0.65(m3/h.m2)，P为风管系统工作压力：对园形风管的允许漏风量应为矩形风管规定值的50%。 空气洁净度等级为1级至5级的洁净室（区）的净化空调系统的允许漏风量应按高压系统的规定，6级至9级的洁净室（区）的净化空调系统应按中压系统的规定。 风管制作质量的一般项目的规定，包括允许偏差、焊缝质量、风管连接
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