无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素，一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。另一方面欲达到无尘室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。垂直层流式方向要保持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，（21世纪80、90年代）一般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则：
不发生
在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策：
减少接触剥离发尘的动作形态；
采用磨耗发尘小的材质；
采用发尘小的润滑油；
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
无尘洁净室中的三尘。防静电垂帘：四周围用防静电垂帘（或钢化玻璃），防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的好净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。
对于穿着的洁净服，建议每周更换一到两次，或者只要衣服一脏就立即更换。各家公司在这个程序上的规定也不一样。复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。必须时刻遵守着装程序。衣服不得与地板接触。与地板接触会污染衣服。如果需要戴手套，必须使用洁净室的无粉乳胶手套或者胶手套。因为有的人对乳胶中的蛋白质过敏，如果因使用了无粉乳胶手套而造成手部出现红点，建议改用胶手套。一旦手套褪色或者有破洞必须马上更换，但不能在洁净室里更换，只能在更衣室里更换手套。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套，应该慢慢地把手套从手上退下来。