洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
洁净厂房施工验收注意事项：
1、洁净厂房工程竣工后，施工方应提供关于工程详细情况的工程施工说明书，包括：工程及其功能作用，性能，验收的竣工图，和设备清单及库存备件。
2、各类设施或系统应配存一套明确的使用说明书，包括：设施启动前应完成的检查和检验计划，设施在正常和故障方式下启动和停运程序，报警时应采用的程序。
洁净厂房中排风管道的制作，应符合下列规定：
（1） 可燃、有毒的排风风管的密封垫料、固定材料应采用不燃材料；
（2） 风管所用螺栓、螺母、垫圈和铆钉均应采用与管材性能相适应，并不产生电化学腐蚀的材料；
（3） 镀锌钢板不得有镀锌层严重损坏的现象，如表层大面积白花、镀层粉化等；
（4） 风管法兰的螺栓及铆钉孔的间距，不应大于100mm；矩形风管法兰的四角部位应设有螺孔。