广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵养护维修 Alcatel分子泵控制器维修
泵温太高的原因可以是泵环境温度太高,进气温度太高,进气冷却装置失效,泵长期连续运转入中压力太高;水冷泵冷却水量不足,循环水设计效果不佳;温控水量调节阀失效等。漏油。可以发生在轴封,油箱与泵零部件的密封面,放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处,气镇阀(例如2X-8)等部位。
罗茨泵的特点是启动快、功耗少、运行维护费低、抽吸速度大、效*高,对被抽吸气体中含有的少量水蒸气和灰尘不敏感;水环式真空泵结构紧凑,叶轮转速快,可以和电机直接进行连接,不需要减速装置。进气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修便捷。Alcatel分子泵控制器维修
运转中真空系统内气体会通过密封真空泵油层不断排出,排出气体会在油层表面产生大量气泡,并从泵排气孔中溢出,造成油品损失与设备污染。加防抗泡剂泵油,在抗泡效果上有明显提高。天然矿物油均有其不可避免漏洞,耐热化性能要比合成油差,泵油成份随热氧化分解极易劣化,极限压力稳定性差,抽速也随运用时间下降。Alcatel分子泵控制器维修
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵养护维修 分子泵养护
半导体器件的生产制造工艺极其复杂,需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作,例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护
罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器,用于真空泵的噪声治理。分子泵养护
转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作,可采取更有效的冷却方法,即将转子用循环油冷却,在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入,经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外,还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好,泵在运转时转子温度低于外壳温度,大泵常采用这种方式。 分子泵维修,例如在80Torr压差下工作时,罗茨真空泵转子温度较外壳低78度,同时还发现泵负荷越重时,则间隙越大,这是因为转子用油冷却,温度比壳体低,负荷越大,壳体膨胀越厉害,轴间距加大,所以间隙会增大。
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵养护维修 分子泵升级改造
分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态不良时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。
当活塞到达上部顶端时,关闭进气阀,同时打开排气阀,使膨胀机与低压端相通,气体膨胀制冷,活塞向下移动把冷量贮存在活塞内的蓄冷器中。如此多次循环,便在一、二级冷头处分别获得低于80K和20K的低温和所需的制冷功率,并使气体在低温面上凝结,在活性炭上吸附而被抽除。
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