无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。至于珠宝首饰，工作人员可以戴结婚和订婚戒指，但不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指，因为它们可能会刺穿手套或者衣服。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；苏州卓宇泰公司是一家主营设备搬迁、精准定位、无尘车间、设备安装，设备包装，大型厂房搬迁等业务。 B.维修设备时可在维修区轻易执行。
洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：
大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。
小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。
圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒
伸缩杆：增大清扫范围领域。
软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到过滤系统。
集尘袋：洁净室吸尘器的过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和过滤器有重要作用。
电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。
过滤器：过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是后一个环节，过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。