超声波热解
超声波喷雾热解设备，溶液的分配速率和喷头移动速度等参数由软件界面准确控制。由步进电机控制的容积泵用于根据需要分配溶液。超声波喷头提供薄膜涂层，其运动由步进电机驱动的 X 和 Y 方向线性平台控制，以确保涂层均匀。可以通过改变喷嘴处的压缩空气压力来调整喷雾模式和速度。基板加热板的温度通过专门用控制器独立控制。
超细粉体制备方法及分类
超细粉体制备技术及超细粉体设备的研究主要从两个方面进行：
(1)研究新的机械设备及相关技术;
(2)研究通过化学或物理化学相结合的技术来制备超细粉体。采用机械法可以将物料粉碎到到微米、亚微米级，气流粉碎的极限是微米级，湿法研磨的极限可到亚微米级，然而一般情况下很难获得纳米级粉体。
按产品粒径大小:微米粉体制备法、亚微米粉体制备法纳米粉体制备法。工艺条件控制不同----容易引起混乱。
按制备方法的性质:物理方法与化学方法。
超声波热解
影响涂层厚度精度的主要因素是涂料的喷涂流量，也就是单位时间内基材上的载料量。超声喷头对液体无任何压力作用，故此可完全通过高精度的计量泵控制雾化喷涂的涂料液体流量，从而实现了高精度的喷涂流量控制。如高精度的注射泵，超声波热解喷涂机其流量控制精度可达皮升每秒的级别，而对超声喷头的微流道设计也可整体实现纳升每秒的控制精度。
高温热解
对于粒度较大的有机物原料，要达到均匀的温度分布需要较长的传热时间，其中心附近的加热速度低于表面的加热速度，热解产生的气体和液体也要通过较长的传输过程，这期间将会发生许多二次反应。有机物的成分不同，整个热解过程开始的温度也不同。不同的温度区间所进行的反应过程不同，产生物的组成也不同。总之，热解的实质是加热有机分子使之裂解成小分子析出的过程。