用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。卤素法先前一般的制冷器都采用卤化物为冷媒，当灌注冷媒封口以后，用卤素检漏仪的探头在司疑之外寻找漏点，发现漏点就会声光报警，漏点和漏率也就相对确定了。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
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氦检漏仪产品介绍
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用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s漏率显示的范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s启动时间： ≤5min响应时间： <2S检漏口： 300Pa极限真空： 5×10-4Pa外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）重量：46KG
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汽车空调检漏设备-氦气检漏在汽车空调检漏上的应用
为确保汽车空调的制冷效果和使用寿命，汽车空调的蒸发器、冷凝器、压缩机等的检漏是不可少的，传统的检漏方法，由于其灵敏度低、使用烦杂、工作强度大等因素，如水检法、卤素法、压力衰减法等已被高灵敏度、规范化、的真空检漏技术——氦充气回收检漏系统所替代并取得理想的效果。真空箱氦检漏及回收系统在汽车空调的应用二汽车空调两器检测要求1。
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