当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
活性炭是应用早、用途较广的一种优良吸附剂。它是由各种含碳物质如煤、木材、石油焦、果壳、果核等炭化后，再用水蒸气或化学药品进行活化处理，制成孔穴十分丰富的吸附剂，比表面积一般在700～1500m2/g范围内，具有优异的吸附能力。孔径分布一般为：活性炭50Å以下，活性焦炭20Å以下，炭分子筛10Å以下。炭分子筛是新近发展的一种孔径均一的分子筛型新品种，具有良好的选择吸附能力。活性炭是一种具有非极性表面，为疏水性和亲有机物的吸附剂，故活性炭常常被用来吸附回收空气中的和恶臭物质，在环境保护方面用来处理工业废水和治理某些气态污染物。
哪些地方适用于废气处理设备呢？像涂装厂、食品厂、橡胶厂、化工厂、电子厂、印刷厂、喷漆车间、塑料厂、镀锌车间、涂料厂、石化行业等产生粉尘，异味，的场所，都会产生工业废气，都需要进行废气、粉尘或者的处理。废气处理装置蓄热与燃烧设备:分为二室、三室或多室蓄热与燃烧设备。通常采用耐高温的陶瓷材料作为蓄热体。UV光氧催化设备:当光的能量足够打破有机废气分子中的化学键时，只有激发能大于化学键能，这两个条件才能满足，化学键分解反应就会发生。