特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂,电化学抛光316L不锈钢管件,出气口配置微米过滤器,其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界先进水平。电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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高纯供气系统
实验室集中供气系统比单独钢瓶供气模式有着较多的优势,越来越多的实验室建设者、工作者、管理者对实验室集中供气系统的使用已形成共识,采用集中供气作为实验室供气模式的主流设计方案得到广泛认可。使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上,并清洁连接软管。实验室集中供气的设计应符合相关标准和规程的要求,保证实验室供气的稳定性、持续性和安全性。
随着信息技术的快速发展,信息化在实验中心安全环保领域得到广泛应用。因为气瓶间是相对独立的,整个气路系统压力1大的地方也是气瓶出口处,因此这种方式将气瓶压力可能发生的危险缩小至气瓶间内,可对人体及仪器的伤害可降到1低。首先购置智能化门禁系统和中央集成的监控系统,对实验中心安全环保实行全过程监控管理; 其次以生物学虚拟实验教学中心为依托,大力加强虚拟实验教学资源建设,以虚拟实验代替涉及高危或环境、高成本、高消耗的实验项目,既体现了安全环保的绿色理念,又提高了安全环保的信息化水平。
高纯供气系统
气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架,柜门、侧板采用金属冷轧板,均用环氧树脂粉沫喷涂,内设可活动的气瓶抱箍,便于气瓶的更换和移动。05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构,可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体泄露时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇,使空气流通顺畅,保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔,如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗,尺寸按照排气量比例关系计算。
高纯供气系统
1、高压波纹软管 :外表不锈钢金属网内衬PTFE材质,长度1米以上,通径大于6MM。一端符合标准钢瓶的连接型号,另一端连接自动切换系统。承受大于3000PSI。其特性为:洁净光亮、柔软、防腐。
2、低压报警器 :低压报警器多触点可模拟数据输出型,报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。
3、减压阀 :316L不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar,出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar,出气压力0-6bar。进出口接口1/4” FNPT螺纹,压力表接口1/4” MNPT螺纹。