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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。
真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。
密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。
石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。
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研究结果表明，优化后的LST-MS摩擦力矩及产热显著减小，较普通光滑端面机械密封，其密封寿命延长3 倍以上; 可通过表面微孔化技术使得非平衡式机械密封具有较高的承载能力; 指出静压多孔端面干气密封性能主要依赖微孔部分密度，与微孔直径无关，微孔实际深度对密封性能影响甚小。2009年，Zhu等就工作参数和几何参数进行了详细的讨论，得到了选择工作参数和几何参数的一般原则：槽数应在12～16之间，槽深应在4～6μm之间，平衡间隙应在0。
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机械密封件中的叶轮锁母也不可以上得太紧，在常见的泄漏中，轴和轴套之间的渗漏会比较多，这不单只是叶轮锁母没锁紧的原因，其它很多的因素都会引起渗漏，轴间的垫圈变形、偏移、失效、轴间端面混入了杂质、轴套和轴间有比较大的形位的误差，接触面损坏、轴上的各个元件相互之间有间隙、轴头的螺纹过长等等，都会导致了轴间的渗漏，很多情况与液压密封件泄漏原因相似。另一种情况是，密封件把真空内腔与外腔分隔开，它的作用是保持要求的真空度。