高光氧气净化器用高能量的紫外线紫外光分解空气中的臭氧分子产生自由氧，即活性氧物种，与电子正电子不平衡，由游离氧需要与氧气结合，产生臭氧。轻氧气体净化器的工作原理：有足够的能量产生自由基，引发了一系列复杂的物理化学反应。臭氧发生器效应引起的气体有机化学反应是在气相电离、解离、激发、原子与分子相互作用的组合和加成反应中进行的。这种能量足以使气态有机物破坏化学键，使之退化。3、气液分离器是用于工业废气处理设备的气液分离器，它能将废气夹带的溶剂分离和回收系统中，使有机物在气体中的出口量不超过。
废气处理设备在使用时应该注意的事项：
废气处理设备使用前应检查设备各系统管道阀门是否完好，吸收液药剂选用和配比是否正确。
废气处理净化的风机与水泵接线不能随便乱动，应能保证它们的转向正确。
废气净化处理设备运行交付后，使用单位应派专人保管使用，定期检查。
废气净化处理设备安装在室外，水泵风机电机应制作防雨罩，以免电机受潮。
废气净化液的更换及配用：对净化吸收液的配方配比是根据用户单位的气体源不同，浓度高低来决定的。
废气处理的溶剂吸收法的优点在于对处理大风量、常温、低浓度有机废气比较有效且费用低，而且能将污染物转化为有用产品。冷凝法是非常简单的回收方法,该法的原理:通过将操作温度控制在VOC的沸点以下而将VOC冷凝下来,从而达到回收VOC的目的。但溶剂吸收法仍有不足之处，由于吸收剂后处理投资大，对有机成分选择性大，易出现二次污染。因而在处理VOC时需要选择多种不同溶剂分别进行吸收，较大增加了成本与技术复杂性。另外，有机物在吸收剂中的溶解度、有机废气的浓度、吸收器的结构形式，如填料塔、喷淋塔，液气比、温度等操作参数等均为吸收法的影响因素，任何一项发生改变将或多或少影响到吸收法效用。
燃烧法是指VOCs气体在高温和充足空气下进行完全燃烧，分解成CO2和H2O。因此，人们一直专注新型多孔材料的吸附能力，快速反应动力学和高可逆性。在处理石化、印刷、油漆生产和制药等生产工艺产生的高浓度VOCs气体时具有很高的效率。但如果废气中还有氯、硫和氮等元素，燃烧后会产生有害气体，造成二次污染。燃烧法包括直接燃烧法、催化燃烧法、热力燃烧法。热力燃烧法指在处理低浓度废气时，还需加入助燃气体来提升温度，达到去除目的。