显影状态的维持
A、有无过滤器，保证显影液的干净；
B。有无自动保胶及保护胶的自动清洗系统；
C、有无防氧化盖（金属盖散热快，塑料盖散热慢）
测试步骤
设置曝光程序，生成测试图形阵列。要求每一列对应不同DOSE，每一行对应不同FOCUS.曝光生产测试版，并进行显影、蚀刻和去胶处理。测量测试版上阵列中每个点的CD.分析测量数据。
测试步骤
根据空白版供应商推荐的显影时间建立显影工艺的初始Recipe，一般初始Recipe内容如下：
掩模版停在高位，冲洗显影喷嘴和蚀刻喷嘴（先喷药液5秒，然后喷水10秒）掩模版降至底部，转速设置100rpm，显影喷嘴喷水浸润掩模10秒。由此可见，只有曝过光的银，才对显影液起反应，船被还原或转化成金属银。显影喷嘴切换到显影液，显影时间参考空白版供应商建议。完成显影后，显影喷嘴切换到水冲洗15秒。改用Top beam喷嘴冲水清洗掩模版，掩模版应上下移动以确保整个掩模版被冲洗干净。冲洗完成后，蚀刻喷嘴喷水冲洗10秒，然后切换到蚀刻液。蚀刻时间参考Etch to clea则试结果。完成蚀刻后，蚀刻喷嘴切换到水冲洗15秒。改用Top beam喷嘴冲洗掩模版。+完成冲洗后， 1000rpm旋转甩干。
化学显影法
化学显影法是利用乳剂层中卤化银晶体内的银离子，在显影时被显影剂还原而使潜影不断扩大的显影方法。还原太慢或在还原过程中不能区分曝光和未曝光卤化银的还原剂都不能作为显影剂。即形成银影的银离子是靠乳剂层中的卤化银晶体本身提供的。化学显影法是常见和使用多的一种显影方法。目前制版系列的常规冲洗，均属化学显影的范畴。当我们在电子显微镜下观察显影过程时，会看到已曝光的卤化银一旦与显影剂接触，显影中心的金属银以细丝状逐渐增长。当细丝长到一定长度时，便向横向增长，致使整个颗粒都被还原子成金属银。由此可见，化学显影生成的银为丝团状，可提供较高的感光度。